压阻式传感器基本工作原理及其相关知识
| 压阻式传感器结构 |
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1. 基本工作原理
半导体材料受到应力作用时，其电阻率会发生变化，这种现象称为压阻效应。实际上，任何材料都不同程度地呈现压阻效应，但半导体材料的这种效应特别强。
公式推导
电阻应变效应的分析公式也适用于半导体电阻材料，故仍可用式(9.6)来表达。对于金属材料来说，
比较小，但对于半导体材料，
，即因机械变形引起的电阻变化可以忽略，电阻的变化率主要是由
引起的，即
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(9.9) |
由半导体理论可知：
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(9.10) |
式中
πL—沿某晶向L的压阻系数；
σ—沿某晶向L的应力；
E—半导体材料的弹性模量。
则半导体材料的灵敏系数K0为
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